a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設備及相關(guān)設備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

 
b.應選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設備或接口設備。
 
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過(guò)濾裝置。
 
d.規劃各設備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。
 
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類(lèi)設備，應設置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區，并加裝排氣管線(xiàn)排氣。
 
f.設置給水管線(xiàn)、氣體管線(xiàn)和電氣系統時(shí)，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
 
g.生產(chǎn)及相關(guān)設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。
 
h.應加強注意室內的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結露生銹。
 
i.當設備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
 
j.對于施工或維修之廠(chǎng)商，應告知進(jìn)出無(wú)塵室之各項規定，且負責工程師應隨侍在側監工。
 
k.應有無(wú)塵室專(zhuān)用工具組，但不得帶出無(wú)塵室外使用。
 
l.規劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室，將是一理想之規劃。